SEMICON

CHINA

2025

展会速递

2025 年 3 月 26 日到 28 日期间，中国半导体盛会 SEMICON China 2025 在上海新国际博览中心开始举行。昆山国力电子科技股份有限公司带着半导体设备领域的重要零部件，包括真空电容器、高压继电器、磁控管，在本次展会上进行了展示。

真空电容器是半导体前道主要设备的核心部件。它在刻蚀设备的射频匹配过程中，能调节保障射频能量的动态高效传输；在薄膜沉积的 PVD、CVD、ALD 设备的射频匹配过程中，也能起到这样的作用；在等离子注入设备的射频匹配过程中，同样能调节保障射频能量的动态高效传输；在等离子清洗设备的射频匹配过程中，还是能起到调节保障射频能量的动态高效传输的作用；在去胶等设备的射频匹配过程中，依然能调节保障射频能量的动态高效传输。它是不可替代的“动态枢纽”。

真空继电器具备低损耗的优点，能为半导体光刻等半导体设备在高频高压环境中实现电路快速通断；它还具有高隔离度的优点，可保护电路和设备安全；同时具备快速切换的优点，能在半导体设备中实现信号精准切换传输；并且具有高可靠稳定的优点，为半导体设备在高频高压环境中提供保障。

磁控管在薄膜沉积（PVD\CVD）设备应用中，通过微波能量传输和功率频率精准控制调节，能满足半导体制造中不同工艺步骤的严格要求，确保工艺的可重复性。

走进国力

本次展会，国力股份展出了以下系列展品：真空电容器家族的 N1/Y1 系列；高精度可变电容；智能马达电容；15kW 高性能磁控管；真空高压继电器。

国力是半导体设备领域的关键器件。1970 年（前身 897 厂）开始探索真空技术，从真空电容瓶起步。2003 年自主研发出首款真空电容器。国力股份在半导体行业深耕二十余年，持续突破技术难点，解决“卡脖子”技术难题。其产品领域涵盖等离子清洗、去胶、气相沉积、刻蚀、薄膜沉积 PVD/CVD/ALD 等。逐渐在四大核心领域实现国产替代突破。

展会上，国力股份的技术团队与国内外客户、供应商、合作伙伴进行了广泛交流洽谈，包括美国、日本等。同时，销售团队也参与其中。此外，还与行业内技术伙伴展开了“技术破壁”对话，共同描绘半导体产业新蓝图！我们一直坚信，通过真空技术能够撬动半导体产业升级，并且会持续为全球客户提供高可靠、高性能的解决方案！

展会现场

展会依然精彩地在继续着。国力股份诚挚地邀请全球的合作伙伴来到 T0109 展位，一起去见证中国的“芯”力量。

关于国力股份

昆山国力电子科技股份有限公司专业从事电子真空器件的相关工作，包括研发、生产以及销售。它是一家科创板上市企业，一直致力于构建全球领先的电真空器件研发、制造以及服务的平台。公司的产品在大科学等关键领域得到广泛应用。